半導体や液晶ディスプレイ分野などの緻密な計測が微細な加工を行う工程では、空間の温度・湿度・清浄度といった環境の変動が不良品発生の要因につながります。我々は、超精密計測や超微細加工に要求される「再現性」の高い高精度な作業環境を提供する為に室内の温度を±0.05℃でコントロール可能な精密恒温恒湿クリーンンルームをご提供いたします。
ホワイトクリーンルーム/スーパークリーンルーム
・スーパークリーンルーム(システム天井FFU方式)
・半導体製造用
・プラスチック成形用

バイオクリーンルーム
・無菌製剤向け
・医療器具向け
・固形製剤向け
・無菌病室
